真空插板阀的结构与工作原理
一、真空插板阀的原理、使用范围
真空插板阀的工作原理是阀通过阀杆的左右或上下运动,将阀板与阀座压紧实现密封。驱动阀杆运动的方式有手动、电动、气动三种。手动是通过手轮的旋转,带动阀杆和阀杆上的螺母或四杆连动式的阀杆使阀板运动。
手、电两用的传动部件由直流电动机、齿轮箱组成。电动操作时,电动机按某一方向(如关闭方向)旋转,并通过传动部件使四杆连动式的阀杆往复运动。当阀板进入与阀座密封部位时,阀板靠板式弹簧部件的作用,使阀板压紧。
此时装有行程开关而自动切断电源,运动立即停止。反之,若需打开阀门时,只需按反转电钮即可。手动时,只需松开手轮背帽,按一定方向用手转动手轮即可。
图1为CCD-A型手、电两用的超高真空插板阀外形图。该阀结构合理,阀板与阀体密封时漏气速率小于1×10-7Pa·L/s;阀门总漏气速率小于5×10-8Pa·L/s;阀板开启时阀体烘烤温度小于150℃;手动装置允许受热温度小于65℃;工作稳定可靠,操作方便;可远距离控制。气动驱动部件以压缩干燥空气为动力,通过电磁换向阀使气动部件带动传动装置,使阀门往复运动实现启闭作用,达到密封的目的。
真空插板阀有高真空插板阀和超高真空插板阀两种。
1、高真空插板阀主要用于高真空系统中接通或截止气流,可安装在被抽真空容器(真空室)与真空泵之间;或用于在半连续真空作业的进出料容器上。使用温度为-20~80℃,不适用于对黑色金属有腐蚀性或含颗粒状物灰尘的气体。
2、超高真空插板阀主要用于超高真空系统中接通或截止气流。适用的介质为洁净的空气或非腐蚀性气体;适用温度在阀门开启时,阀体允许烘烤温度小于150℃。
由于真空插板阀具有流导大,密封性能好,放气率低,体积小,结构紧凑、合理,操作方便,安装位置可任意选择等一系列优点,因此真空插板阀广泛用于中、大型高真空、超高真空装置的真空系统中。
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